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特氣站房的分類

特氣站房的分類

發(fā)布時間:2020-02-27
特氣站房的分類  特種氣體在半導體行業(yè)應用比較多,一些用氣量大的工廠需要建立特種氣體站房,特種氣體在分類和設計上需要注意很多問題。本文主要講特氣站房的分類。  特氣體行業(yè)應用現(xiàn)狀  目前,在國內(nèi)外大環(huán)境形勢下,半導體產(chǎn)業(yè)如火如荼的發(fā)展。一方面,受美國等發(fā)達國家制裁,國內(nèi)半導體行業(yè)遭遇了產(chǎn)品供應的難題,另一方面,國家大力扶持發(fā)展國有芯片和技術,很多新建廠房在大陸開花結果,星火燎原。那么建廠初期如何進行氣站的分類,一方面要結合現(xiàn)實情況,一方面要符合國標規(guī)定。  特種氣體設計要求  特種氣體應根據(jù)其物理化學性能及安全特性進行分類和工程設計。  特氣站房分類  沃飛科技根據(jù)特氣設計案例中,結合GB-50646-2011規(guī)范總結出特氣站房的分類:  特種氣體站房分類規(guī)定  1、可燃性特種氣體間應為甲類;  2、毒性氣體間、腐蝕性氣體間、氧化性氣體間應為乙類;  3、惰性氣體間應為戊類;  4、生產(chǎn)廠房內(nèi)的特種氣體間根據(jù)氣體性質(zhì)宜分為可燃性氣體間、毒性氣體間、腐蝕性氣體間、惰性、氧化性氣體間等?! ?、硅烷、氨氣等大宗特種氣體系統(tǒng)的設備應布置在獨立的特種氣體站內(nèi)。
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